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SuperViewW1光學(xué)粗糙度測量儀在材料科學(xué)研究，新型材料制備等方面有著廣泛應(yīng)用，比如測量材料基體和鍍膜后表面形貌和粗糙度，測量材料的磨損性能（通過白光干涉儀測量磨損輪廓和粗糙度）。在MEMS測試項(xiàng)目中，表面特性（粗糙度、臺(tái)階高）是一個(gè)非常重要的項(xiàng)目，目前主要是采用非接觸式的光學(xué)3D輪廓儀(白光干涉儀）進(jìn)行測量。

中圖儀器國產(chǎn)品牌光學(xué)輪廓儀適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、彎曲變形情況、腐蝕情況、表面缺陷、臺(tái)階高度、波紋度、磨損情況、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。

SuperViewW1三維光學(xué)輪廓粗糙度儀是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以得到理想的測量結(jié)果。

SuperViewW1三維白光光學(xué)輪廓測量儀以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測試各類表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。

SuperViewW1白光光學(xué)輪廓度測量儀對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。

中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀檢測儀SuperViewW1以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。